项目简介

我司研制化学液供给系统（CDS）&研磨液供给系统（SDS）广泛应用于泛半导体行业。半导体芯片，LED半导体，太阳能硅片等生产过程中必须要使用的生产设备。通过恰当设计和管理研磨液供给与输送系统来保证CMP工艺的一致性。研磨液的混合、过滤、滴定以及系统的清洗等程序会减轻很多与研磨液相关的问题。那么就要设计一个合适的研磨液的供给与输送系统，完成研磨液的管理，控制研磨液的混合、过滤、浓度、滴定及系统的清洗，减少研磨液在供给、输送过程中可能出现的问题和缺陷，保证CMP的平坦化效果。研磨液组分通常是分开存储，使用时按

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