项目简介

1、简述设备的功能：全自动替代显微镜目检、高精度0.08UM检测、不良项目：晶圆污点、划痕、亮斑、边污、边裂、坐标、尺寸、面积、孔径、位置、粉尘、连接、破损、边切等。 2、市场应用：半导体硅晶圆生产厂、FAB加工制造生产厂、IC半导体封装厂、半导体高端材料生产厂 奈米高精半导体全自动检测： 1、美国科磊KLA国际风口设备国际独家壟断usd69亿2022营业额，占半导体市场70%以上的市占率 2、替代人工目检显微镜检测日本基恩仕usd51亿营业额 3、主要测试晶圆光板、晶圆生产、半导体高端材料，车间无尘等级

项目优势

项目进展

主要成员

负责人介绍