大规模集成电路用磁芯薄膜芯片电感制造技术

行业 : 大数据与新一代信息技术
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项目简介

该项目的关键技术就是把铁(Fe)、钴(Co)、硅(Si)和硼(B)4种晶体元素按一定比例设计合成柔性非晶体软磁性材料,用磁控溅射法将这种材料制成薄膜,并用作芯片电感的薄膜磁芯。在不增加电感元件的体积、电流等其它指标的情况下,可使芯片电感的感量增强5倍,从而实现了电感元件小型化,节能型和高品质的目标。我们是在日本最早用磁控溅射法开发成功该项技术的,首次提出了外磁芯薄膜方法,改变了传统的中心磁芯概念,使得传统的三维构造电感简化为二维构造,并拥有了薄膜磁芯。在研制过程中,攻克了多项世界性难题,研发了三项关键技术

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高军思